耐高温晶圆镊子(Rubis晶圆镊子)又叫做精密镊子,导静电镊子，简称PEEK具有耐高温， 耐磨损性，耐化学品腐蚀、阻燃等诸多显菩优势:
A.可在2509C下长期使用，在高温下能保持较高的强度，尺寸稳定性较好，线胀系数较小，非常接近于金属铝材料; .
B.(Rubis晶圆镊子)具有突出的摩擦学特性，耐滑动磨损和微动磨损性能优异，尤其是能在250°C下保持高的耐磨性和低的摩擦系数，因此，夹取晶圆，硅片的时候，不会对晶圆，硅片的表面产生划痕，不会因摩擦而对晶圆，硅片产生残留物，从而提高了晶圆，硅片的表面洁净度。
C.耐化学药品性强，在通常的化学药品中，只有98%的浓硫酸能溶解或者破坏它，它的耐腐蚀性与镍钢相近，同时其自身具有阻燃性，在火焰条件下释放烟和有毒气体少，抗辐射能力强。
